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日立掃描電子顯微鏡

  低加速電壓下高分辨

  3 KV加速電壓下分辨率7 nm,5 KV加速電壓時背散射電子分辨率可達10 nm

  SU3500 采用全新電子光學系統,圖像質量進一步提升。全新設計的低球差物鏡和偏壓系統保證低加速電壓下的高發射束流,所以

  二次電子分辨率在 3 KV 是可達 7 nm,背散射電子的分辨率在 5 KV 時可達 10 nm

  減輕荷

  減輕荷電掃描模式為:快速多次對一行進行掃描取得信號后再掃描下一行,因此,電子束在同一位置的停留時間得以縮短,比通常的慢掃模式對減輕荷電及電子束損傷更有效。

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